关于我们
复旦大学微电子学院ALD技术与功能器件研究团队，专注于ALD技术与应用研究20余年，目前团队在该领域的研究兴趣包括新的ALD反应及生长工艺、ALD High-k薄膜、ALD在大规模集成电路铜互连阻挡层中的应用、ALD金属纳米晶在Flash存储器中的应用、以及利用ALD/MLD工艺开发新型有机或有机/无机杂化薄膜等。团队成员包括课题组长丁士进教授，青年研究员刘文军博士，副研究员吴小晗博士，以及10余位博士后、博士研究生和硕士研究生。团队现有ALD设备5台，包括国外进口ALD设备（Picosun）与国产ALD设备，适用于尺寸从4-12英寸的各种硅片，可用于科研及工业生产的中试实验。
团队长期招收博士后、博士研究生和硕士研究生，团队招聘具有微电子器件与工艺及相关学科背景的青年教师，欢迎海内外优秀学者加入！
